Оптик дизайн ярымүткәргеч өлкәсенә төрле кушымталар бар. Фотоальбом машинасында оптик система җиңел чыганакны чыгарып, аны район үрнәген фаш итү өчен, кремний ваферына юнәлтү өчен җаваплы. Шуңа күрә, фотойитография системасында оптик компонентларны проектлау һәм оптимизацияләү - фотолитография машинасының эшен яхшырту мөһим ысулы. Түбәндә фотолитография машиналарында кулланылган оптик компонентлар бар:
Проекция объекты
01 Проект объектив - литрография машинасында оптик фонент, гадәттә, линзалар сериясеннән тора, шул исәптән конвекс линзаларыннан, линзалар, линзалар, призлар.
02 аның функциясе битлек үрнәген кысу һәм аны фоторесист белән вафатка юнәлтү.
03 Проекция объективының төгәллеге һәм чыгышы - Литография машинасының резолюциясенә һәм сурәтләү сыйфатына хәлиткеч йогынты ясый
Көзге
01 КөзгеләрЯктылык юнәлешен үзгәртү һәм аны дөрес урынга юнәлтү өчен кулланыла.
02 Евв Литография машиналары, бигрәк, аеруча мөһим, чөнки EUV яктылыкы материаллар белән җиңел генә сеңел, шуңа күрә югары чагылышы белән көзге кулланылырга тиеш.
03 Тарифның төгәллеге һәм рефланучының тотрыклылыгы шулай ук Литография машинасының чыгышына зур йогынты яса.
Фильтрлар
01 Фильтрлар бертөрле дулкын озынлыгын бетерү өчен кулланыла, фотолитографиянең төгәллеген һәм сыйфатын яхшырту.
02 Тиешле фильтрны сайлап, билгеле бер дулкынлык нуры Литография машинасына кенә, шуның белән литография процессы төгәллеген һәм тотрыклылыгын яхшырта.
Призмалар һәм башка компонентлар
Моннан тыш, литография машинасы шулай ук пристлар, поляризатор һ.б., махсус литт таләпләрен канәгатьләндерү өчен башка ярдәмче оптик компонентларны да куллана ала. Бу оптик компонентларны сайлау, проектлау һәм җитештерү тиешле техник стандартларга һәм литография машинасының югары төгәллеген һәм эффективлыгын тәэмин итү өчен тиешле техник стандартларга һәм таләпләрне үтәргә тиеш.
Йомгаклап әйткәндә, литография машиналары өлкәсендә оптик компонентларны куллану литография машиналарының җитештерүчәнлеген һәм җитештерү нәтиҗәләрен җитештерүне максат итеп куя, шуның белән микроэлектроника җитештерү сәнәгате үсешенә ярдәм итә. Электрографиянең өзлексез үсеше белән, оптик компонентларны оптимальләштерү һәм инновация шулай ук киләсе буын чипы җитештерү өчен зур потенциал бирәчәк.
Күбрәк аңлау һәм эксперт киңәше өчен безнең сайтка керегезhttps://www.jiujonoptics.com/Безнең продуктлар һәм чишелешләр турында күбрәк белү.
Пост вакыты: Ян-02-2025
