Оптик дизайн ярымүткәргеч өлкәсендә бик күп кушымталарга ия. Фотолитография машинасында оптик система яктылык чыганагы чыгарган яктылык нурын туплау һәм аны кремний вафатына юнәлтү өчен җаваплы. Шуңа күрә, фотолитография системасында оптик компонентларны проектлау һәм оптимизацияләү - фотолитография машинасының эшләвен яхшырту өчен мөһим ысул. Фотолитография машиналарында кулланылган оптик компонентларның кайберләре:
Проектның максаты
01 Проекциянең максаты - литография машинасында төп оптик компонент, гадәттә конвекс линзалар, конкав линзалар һәм призлар кебек линзалар сериясеннән тора.
02 Аның функциясе - маскадагы схема схемасын кыскарту һәм аны фоторезист белән капланган ваферга юнәлтү.
03 Проекция максатының төгәллеге һәм эшләнеше литография машинасының резолюциясенә һәм сурәтләү сыйфатына хәлиткеч йогынты ясый.
Көзге
01 Көзгеяктылык юнәлешен үзгәртү һәм аны дөрес урынга юнәлтү өчен кулланыла.
02 EUV литография машиналарында көзгеләр аеруча мөһим, чөнки EUV яктылыгы материаллар белән җиңел үзләштерелә, шуңа күрә югары чагылдырылган көзгеләр кулланылырга тиеш.
03 Рефлекторның өслегенең төгәллеге һәм тотрыклылыгы литография машинасының эшенә дә зур йогынты ясый.
Фильтрлар
01 Фильтрлар фотолитография процессының төгәллеген һәм сыйфатын яхшырту өчен, яктылыкның кирәк булмаган дулкын озынлыкларын бетерү өчен кулланыла.
02 Тиешле фильтрны сайлап, литография машинасына билгеле дулкын озынлыгы нуры гына керә ала, шуның белән литография процессының төгәллеген һәм тотрыклылыгын яхшырта.
Призлар һәм башка компонентлар
Моннан тыш, литография машинасы махсус литографик таләпләрне канәгатьләндерү өчен призма, поляризатор һ.б. кебек башка ярдәмче оптик компонентларны куллана ала. Бу оптик компонентларны сайлау, проектлау һәм җитештерү литография машинасының югары төгәллеген һәм эффективлыгын тәэмин итү өчен тиешле техник стандартларга һәм таләпләргә туры килергә тиеш.
Йомгаклап әйткәндә, оптик компонентларны литография машиналары өлкәсендә куллану литография машиналарының җитештерүчәнлеген һәм җитештерү нәтиҗәлелеген күтәрүне максат итеп куя, шуның белән микроэлектроника җитештерү индустриясе үсешенә ярдәм итә. Литографик технологиянең өзлексез үсеше белән, оптик компонентларны оптимизацияләү һәм яңарту киләсе буын чиплары җитештерү өчен зур потенциал бирәчәк.
Күбрәк мәгълүмат һәм эксперт киңәше өчен безнең сайтка керегезhttps://www.jiujonoptics.com/безнең продуктлар һәм чишелешләр турында күбрәк белергә.
Пост вакыты: 02-2025 гыйнвар
